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ULVAC愛發科LR1800干式真空泵維修 干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用
ULVAC愛發科LR1800干式真空泵維修
干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護保養性能以及減少了噪音，全機種都能適用。關于CEO-SHOCK的詳細信息
特點
LR Series:低溫領域均熱化
針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間
HR Series/UR Series:高溫領域均熱化
CVD、蝕刻法等發生時，升華性排氣物質的可以以氣體狀態排出
1000msec以內的瞬停對策
可以對應CE
用途
活性氣體（CVD、干腐蝕等）
惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
排氣時間縮短（LR Series)
粉體發生時的過程排氣（Si單結晶提高等）
輔助排氣泵（漩渦分子泵、機械泵的輔助排氣）
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